光譜共焦儀是一種高精度、非接觸式的新型傳感器,精度理論上可達納米量級。由於其高精度、高解析度以及易於實現三維數位化成像的獨特優勢,在生物醫學、材料科學、半導體製造、表面工程研究、精密測量等領域均得到了廣泛的應用。
明治的光譜共焦儀一直以來以高效穩定的發揮受到了廣大用戶的歡迎,也總結出了一套實用的使用方法,今天小明就來分享一下光譜共焦儀的選型、安裝及保養。
光譜共焦選型要點
選型步驟/ Arrangement
1、確定測頭工作量程
2、確定樣品到測頭前端的工作距離
3、考慮合適的光斑大小和最大傾角
4、控制器選型時首先看工作頻率
5、考慮是否需要編碼器觸發
6、考慮是否需要多通道
選型技巧/ Arrangement
1、曲度較大的鏡面(優先考慮大角度鏡頭)
2、粗糙表面(優先選擇角度大、光斑小的鏡頭)
3、解析度求較高:如測量微小縫隙溝槽、尋邊、測量弧高時,優先選擇角度大,光斑小的測頭;
4、材料測厚:不透明材料或精度要求較高的透明材料,建議使用雙測頭對射測量,平整度及透明度高且精度
要求相對不高的透明材料可以使用單測頭測厚;
5、有較大段差表面:優先選擇大量程測頭;
6、透明膜厚測量:最小膜厚需大於測頭量程的1/20;
7、多通道並列測量:優先選擇小直徑測頭;
8、輪廓度測量:優先選擇帶編碼器的控制器;
9、多點測量:速度要求不高時,可考慮一拖多控制器提升經濟性;
10、實時性輸出要求較高:可考慮帶模擬量輸出控制器。
光譜共焦的安裝
控制器安裝:
◾ 安裝空間保持後方30mm以上,前部100mm以上,其它方向10mm以上;
◾ 如使用控制器背面卡扣掛至DIN導軌時,請務必確認控制器已切實固定;
◾ 如借用底部腳墊孔位進行安裝時,請將腳墊至於控制器與固定板中間,選用螺絲不宜過長,以免頂到內部電路板造成電路板損壞;
◾ 請勿安裝在會產生干擾的設備附近。如果不得不安裝在干擾較多的環境下,請務必採取屏蔽措施。
◾ 最好使用設備配套DC電源適配器,如自行配置電源時請勿使用超過額定電壓(DC24V±10%)的電壓或交流電源;
◾ 連接IO、模擬量及編碼器端子時,務必做好漏電保護,以免端子短路造成電路損壞。
測頭的裝夾:
如圖1示,使用夾具夾持測頭可裝夾部位,建議使用環形夾具,以使產品夾持部位受力均勻,測量時測頭不會產生晃動;夾具設計可參考下2圖所示;對射測量時夾具設計
可參考下3圖所示
光纖跳線的安裝:
1、將光纖跳線無標籤端連接測頭,有標籤端連接控
制器,外鎧裝線看雷射打標標識;
2、光纖跳線連接時須將光纖接頭凸起處對準測頭或
控制器光纖適配器值卡槽,對準後先推入再旋緊外部螺絲扣(最好雙手操作以避免鎖緊時發生偏轉),注意旋緊力度不可過大;
3、測頭端光纖適配器接口設計有傾斜角度,此為特殊設計;
4、光纖跳線可以走設備拖鏈,但需注意折彎半徑不
低於30mm,光纖接頭處最好預留90mm以上空間;
5、安裝時不得在光纖根部施加彎曲應力,不得強行
拖拽光纖,不得施加扭曲力,不得踩踏光纖,不得在光纖上放置重物;
6、 拆下光纖跳線時,請務必將附帶的保護蓋安裝至
光纖跳線的連接器。如在拆下保護蓋的狀態下放置,則可能會因附著異物而導致錯誤測量。