由於內存價格暴跌，美光、SK海力士兩家內存廠商都已經大幅削減了投資，降低了產能，然而三星作為內存一哥不為所動，不僅不打算減產，甚至還在擴大投資，明年新增至少10台EUV光刻機，用於生產最新的12nm級內存晶片。
三星在韓國的內存工廠主要是位於平澤市的晶圓廠，其中P3晶圓廠目前的產能是每月2萬片晶圓，三星已經計劃擴大投資，增加內存生產設備，將產能提升到每月7萬片晶圓。
在這些設備中，最重要的就是EUV光刻機了，三星從14nm級別的內存晶片開始引入EUV光刻機，EUV光刻機可以減少多重曝光工藝，提供工藝精度，從而可以減少生產時間、降低成本，並提高性能。
當然，上EUV工藝的代價也不是沒有，EUV光刻機單價10億元以上，產量也不如傳統DUV光刻機，意味著初期成本會比較高。
按照三星的計劃，2023年的P3晶圓廠將新增至少10台EUV光刻機，主要用於量產此前發布的12nm級DRAM內存晶片。
12月21日消息，三星宣布全球首發12nm工藝的DDR5內存，核心容量16Gb，並率先完成AMD平台兼容認證。
三星是全球第一大DRAM內存晶片公司，技術上也是最領先的之一，2021年率先推出了14nm DRAM晶片，用上了EUV工藝，這次的12nm DRAM內存晶片則是進一步的技術升級版。
除了EUV工藝之外，12nm DRAM內存還使用了高K材料及改善電路特性的專用設計技術，該內存具有業界最高的存儲密度，而且晶圓生產效率提升了20%。
三星沒有提及太多的技術細節，速度上可達7.2Gbps，號稱1秒內可以處理2部30GB的UHD電影，功耗比以前的DRAM降低了23%。