光譜共焦儀是一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達納米量級。由於其高精度、高解析度以及易於實現三維數位化成像的獨特優勢，在生物醫學、材料科學、半導體製造、表面工程研究、精密測量等領域均得到了廣泛的應用。
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