真空泵的種類繁多（乾式螺杆泵、旋片泵、羅茨泵、水環泵、渦旋泵、爪泵等），應用範圍廣泛（冶金、化工、食品、半導體、電子電力等）。
真空泵是在力的作用下對被抽容器進行抽氣從而維持真空的裝置。真空泵平常廣泛的應用於真空設備、低溫設備、造紙機械、石油、礦山、地基處理等領域。不同的真空泵工作原理和用途也不盡相同。
大型真空泵的缺點：雖然真空度高，但在低真空場合就造成極大浪費，像實驗室，只是需要泵對少量氣體進行氣體採樣、氣體分析、氣體循環、真空吸附、氣體轉移、增壓、間接吸水、排水等時，用大型真空泵就無法滿足無油。不會污染，不干擾介質的分析的要求，而且價格高昂、體積大、重量大、噪音高、能耗高、需要定期維護，不易移動等，有的大型真空泵必須使用真空泵油或潤滑油，工作中會產生油霧，對工作介質有污染……等等
小型真空泵的優點：粗真空（真空度較低），體積小巧、噪音低、功耗小、易於操作、便於攜帶、免維護、可24 小時連續運轉，還允許介質富含水汽，最重要的是，有乾式、無油區分，不需要真空泵油或潤滑油，不會污染，不干擾介質的分析等等，價格相對便宜得多，等等。
選擇真空泵的9大注意事項
一、了解真空泵運作時產生的震動對工藝過程及環境有無影響，如有，需選擇無振動、振動小的真空泵，或者採取防振動措施。
二、了解被抽氣體成分，氣體中是否含有可凝蒸汽、顆粒灰塵，是否有腐蝕性等。並根據情況在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器。
三、真空泵在其工作壓強下，要能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
四、正確組合真空泵。
五、了解真空設備對油污染的要求，如嚴格要求無油，應選擇各種無油泵；如要求不嚴格，選擇油泵時，可增加防油污染措施。
六、選擇正確的真空泵工作點。
七、了解真空泵排出的油蒸汽對環境的影響如何，如環境不允許有污染，則選擇無油泵；或者把油蒸汽排到室外。
八、真空泵的工作壓強應滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。
九、合理選擇真空泵的價格，並了解長期維護保養的費用及方式。
羅茨真空泵（簡稱羅茨泵）是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風機演變而來的。根據羅茨真空泵工作範圍的不同，又分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵（又稱機械增壓泵）和高真空多級羅茨泵。一般來說，羅茨泵具有以下特點：
在較寬的壓強範圍內有較大的抽速；
起動快，能立即工作；
對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感；
轉子不必潤滑，泵腔內無油；
振動小，轉子動平衡條件較好，沒有排氣閥；
驅動功率小，機械摩擦損失小；
結構緊湊，占地面積小；
運轉維護費用低。
因此，羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業部門得到廣泛的應用。
渦輪真空泵用於清潔和乾燥的真空泵。因此，它們被廣泛應用於研究領域和實驗室。
渦旋真空泵採用兩個螺旋形的渦旋來泵送和壓縮液體或氣體介質。 其中一個螺旋是固定的，另一個則繞著它偏心地旋轉。 正是這種偏心運動使氣體得以壓縮。
渦旋真空泵安靜，緊湊且不需要油。 真空泵的氣密性是由連接螺旋線產生的。 由於必須經常更換密封以確保最佳的氣密性，因此需要定期維護。 這種泵的主要缺點是容易受到碎屑和顆粒的侵蝕，這些顆粒往往會侵蝕螺旋密封。
旋片真空泵體積小巧，可以達到低真空度。 它們對高沸點的含水樣品和溶劑特別有效。 蒸汽甚至在與泵接觸之前就可以被收集。
旋片真空泵需要機油才能運行。 機油的存在可以確保運動部件的完美氣密性、恆定而有效的潤滑，並為冷卻真空泵提供了出色的散熱性。
但是，為了確保真空泵有效運行，需要定期維護。 旋片泵的一個缺點是需要定期更換機油，以減少磨損的風險。 建議 每使用約3000小時更換一次。