等離子清洗機的電感和電容耦合式放電
在小型等離子清洗機的工作原理中，一直有兩種工作原理：電容耦合（不鏽鋼腔）和電感耦合（石英玻璃腔）。對於這兩種工作方法有什麼區別？
電容耦合
容性耦合等離子體是最早、應用最廣泛的等離子體產生方法，廣泛應用於清洗、蝕刻和表面改性等領域。電容耦合等離子體又稱電場耦合等離子體。其產生機理是在低壓條件下，在兩極板之間施加高頻電場使氣體電離，產生穩定的等離子體。
電感耦合
感應耦合是感應線圈中的交流電場，在反應室中耦合感應產生二次電場，在低壓狀態下激發產生等離子體。
電感耦合等離子體，外電極結構易於實現，應用於等離子體清洗，能較好地解決極板濺射問題。電感耦合等離子體在原子光譜分析中應用廣泛。採用ICP光源產生光譜，根據物質的特徵譜線分析物質的化學組成、結構和存在方式。
電容耦合有3種工作方式
線圈纏繞型
典型的外部電極結構是最早的電感耦合結構，其特點是結構簡單，無電極污染，但由於二次耦合，其耦合效率低，等離子體均勻性差。2（目前，它是常見於小型實驗室類型的等離子體清潔器）。
扁平同心螺旋線圈
平面耦合線圈可以產生大面積的等離子體。主要用於等離子蝕刻、等離子精脫膠等高端要求較高的場合。
內電極式結構
由於電感線圈位於等離子體中，線圈耦合性好，效率高，但電極浸泡在等離子體中，在電場的作用下受到粒子轟擊，線圈的尺寸會發生變化，同時容易發生電極濺射，這對被清洗或蝕刻的材料是有害的。污染發生時，所以在使用這種結構時，需要在電感線圈的表面包裹一層介電層。
安全性
由於無線電頻率為13.56MHz，波長為22米，因此具有很強的穿透力。
電容耦合等離子清洗機的反應室（真空室）一般由不鏽鋼板製成。電容器板位於真空室中。金屬盒本身就有很好的屏蔽效果，所以不需要單獨考慮屏蔽。
感應耦合真空室由石英玻璃製成，感應線圈安裝在真空室外部。如果不考慮屏蔽，在使用過程中會產生強烈的射頻電磁干擾，影響控制系統和其他設備的正常運行。