肖特基二極體(1)

衡麗電子 發佈 2024-05-01T13:30:22.271005+00:00

一,肖特基二極體現在說起二極體,我們大多默認它是由「PN結」組成的;然而有一種奇特的、應用非常廣泛的二極體,卻並非由PN結組成,而是金屬-半導體結構:肖特基二極體(SBD)。

一,肖特基二極體

現在說起二極體,我們大多默認它是由「PN結」組成的;然而有一種奇特的、應用非常廣泛的二極體,卻並非由PN結組成,而是金屬-半導體結構:肖特基二極體(SBD)。

最早接觸硬體設計時,聽說了肖特基二極體的大名,覺得這個二極體名字:陌生又順口,似乎不是以其功能命名的,非常古怪。後來才知道肖特基二極體是以其發明人華特.肖特基博士名字命名的,我想這是流傳百世的一個好辦法,雖然跟桃花潭塘主:汪倫比還是差了一截。

肖特基二極體是以貴金屬(金、銀、鋁、鉑等)為正極,N型半導體為負極,利用二者接觸面形成肖特基勢壘,具有整流特性而製成金屬-半導體器件。

我們來看下PN結的擴散理論:從「自由電子」高濃度的N區向低濃度的P區擴散「自由電子」,同理「空穴」濃度高的P區向N區擴散「空穴」;這非常容易理解,因為這符合日常觀測經驗,舉個例子:在一瓶水中滴「墨水」,就能看到「墨水」不停擴散開,直至整瓶水的「墨水」濃度均勻分布。但套用到肖特基二極體,前提必然是:金屬中的「自由電子」要遠少於N區中的「自由電子」;這就不符合我們的常識了,N半導體的「自由電子」比金屬導體中導電率最高的銀的「自由電子」還要多?打死我都不信。

事實上,擴散理論已經不能應用在肖特基二極體上了,而需要用到「能帶理論」來解釋。我們會在接下來的「肖特基二極體的原理」章節進行解釋;現在先放一放,先看相對更容易且重要的部分:肖特基二極體的結構。

1,肖特基二極體結構

肖特基二極體整體上是由金屬和N半導體組成,但在實際結構比想像中更加複雜一些:

1. 陽極:由金屬(金、銀、鋁、鉬等材料)組成,用SiQ2來消除邊緣區域電場,提高二極體反向耐壓值;

2. 陰極:由N-外延層(低摻雜),N型基片(小通態電阻,摻雜濃度為N-的100倍),N+陰極層(減小陰極接觸電阻)以及陰極金屬組成;

3. 通過調整結構參數,在基片和陽極金屬之間形成合適的肖特基勢壘。

為什麼肖特基勢壘區的N半導體的摻雜濃度要低一些,而與陰極金屬接觸的N半導體摻雜濃度要更高呢?

1. 雖然還沒講到:為什麼N區會失去電子而金屬反而能得到電子;但事實就是:肖特基二極體中的金屬替代了原來P型半導體,與N半導體之間建立了肖特基勢壘,而且內建電場的方向是N半導體—>金屬;

2. 參考PN結能帶圖,如果N區的摻雜濃度變大,那麼肖特基勢壘區間距就變小(由於金屬不存在空穴,從N區跨越到金屬的「自由電子」在金屬表層,所以肖特基二極體勢壘區只存在N區中,間距遠小於PN結);

——根據 「隧穿效應」原理:如果勢壘區很小,那麼在加反向電壓時,金屬側「自由電子」能很容易的「隧穿」到N區,形成電流。

3. 高濃度摻雜的N區與金屬的「接觸電阻」就會便非常小(下面歐姆接觸具體原理分析),這也解釋了:為什麼與陰極金屬接觸的N區是高摻雜的;

4. 如果N區的摻雜濃度很小,肖特基勢壘區寬度足夠大,就能夠增加肖特基反向耐壓;但肖特基勢壘區天生比PN結距離要小,所以其反向電流會相對更大,反向耐壓會更小。

肖特基二極體主要有兩種工藝結構:點接觸結構和平面接觸結構;

1. 點接觸:用一根尖端細金屬絲與半導體接觸製成,用機械接觸或用放電工藝得到一個很小的合金結;

2. 平面結構是我們最常用的,它有很多不同的結構用於改進反向電壓:

1, 平面結構比點接觸的正向壓降低,電流大,反向擊穿電壓有所提高;但是勢壘結邊緣電場集中,反向漏電流更大;VRM<60V;

2, 為了緩和邊緣電場集中問題,採用了金屬場板結構;

3, 為進一步改進邊緣電場,增加P型保護環結構。

2,肖特基二極體原理

上面我們了解了肖特基二極體的基本物理結構,肖特基勢壘結構和金屬電極-半導體接觸的結構並無本質差別,那只要是金屬和半導體接觸就會形成「肖特基勢壘」麼?接下來我們就可以看下:金屬和N半導體怎麼形成的「肖特基勢壘」。

在深入之前,我們再來捋一遍肖特基勢壘形成的基本原理:

1. N型半導體與金屬接觸時,半導體中的「自由電子」進入金屬(不是擴散運動);

2. N型半導體界面電荷區中留下正電荷--「空穴」,金屬界面上有多餘負電荷--「自由電子」,從而產生由N->金屬的電場;

3. 由於金屬內部「自由電子」在內建電場的作用下,產生金屬->N的漂移運動,並最終達到平衡,形成肖特基勢壘,如下圖所示。

很明顯,除了第一步外,其它兩個步驟都很好理解。所以我們需要引入新的概念來解釋為什麼「自由電子」會從N半導體「擴散」到金屬呢?

1. 金屬功函數:金屬由金屬內部逸出到表面外的真空所需要的最小能量;即:φm = E0-(EF)m;E0為真空電子能量(真空能級),(EF)m為金屬費米能級;

1, 「金屬鍵」的約束力很弱,「自由電子」可以在金屬內部是自由移動;

2, 但金屬功函數要求的是:「自由電子」突破金屬原子核的電磁力,逸出到金屬外面的能量,這顯然是需要更大的能量。

2. 同理,半導體功函數是指:E0與半導體費米能級之差,φs = E0–(EF)s;但半導體費米能級下的價電子有概率會躍遷到導帶上,變成「自由電子」;所以有了另外一個概念:半導體電子親和能,即:半導體「導帶底」的「自由電子」逸出體外所需的最小能量,χ= E0–Ec;

好啦,那接下來就要比一比「金屬功函數」和「半導體電子親和能」誰大,誰小的問題了:

1. 金屬或半導體中的「自由電子」想要進入對方材料中,那麼金屬中「自由電子」需要克服「金屬功函數」;

2. 而N半導體「自由電子」則需要克服半導體親和能。

如下圖所示為幾種常用金屬的功函數和半導體材料的電子親和能值。我們可以看到,金屬的功函數居然大於半導體的電子親和能,說明半導體中的「自由電子」有更大的概率(更容易)逸出並進入金屬,相反金屬中的「自由電子」逸出並進入半導體的概率要小。這就解釋了為什麼「自由電子」是從半導體到金屬的方向移動。

從上圖可以看到,不同金屬的功函數以及不同半導體的電子親和能有差別,所以不同的金屬與半導體形成的勢壘高度也會不同,從而導致肖特基二極體V-I曲線的差異,如下圖所示:如果金屬接觸勢壘高度高,那麼二極體漏電流小,正嚮導通壓降大。

還有一個問題是:為什麼PN結不用考慮電子親和能,可以直接用擴散理論呢?

個人理解:因為P型半導體和N型半導體,它們雖然由於不同的摻雜導致「自由電子」和「空穴」的濃度差異,但是究其本質來說,P型和N型半導體就是同一種材料,所以「自由電子」和「空穴」進出P型或N型半導體不需要逸出本體(不需要做功,或則說P和N型的「半導體電子親和能」是一樣的);要看誰進入對方更多,就看 「自由電子」或「空穴」的濃度,所以我們可以用「擴散理論」來解釋PN結的擴散運動。

接下來,我們再來看下肖特基勢壘的能帶圖;以真空能級E0作為參考能級,φm是金屬功函數,φs是半導體功函數,χ是電子親和能;如下圖左所示,在金屬和半導體接觸之前:φm>φs。

1. 如下右圖為理想熱平衡狀態時的金屬-半導體能帶圖,由於接觸前半導體的費米能級要高於金屬的費米能級,接觸熱平衡之後兩者費米能級必然保持連續,所以半導體中的「自由電子」流向比它能級更低的金屬中,帶正電的「空穴」仍然留在半導體中,從而形成一個空間電荷區(耗盡層);

2. φB0是半導體接觸的理想勢壘高度,金屬中的「自由電子」向半導體中移動形成勢壘,該勢壘就是:肖特基勢壘;φB0= φm - χ;

3. 在另外一側,Vbi是內建電勢差,這個勢壘類似於PN結勢壘,是由導帶中電子運動到金屬中形成的勢壘;Vbi = φB0- φn;

如下圖分別為肖特基二極體的反偏和正偏能帶圖,與PN結能帶圖非常類似;

1. 在金屬與半導體之間加一個負電壓,那么半導體-導體勢壘高度會增大,理想情況下φB0保持不變,但金屬與半導體之間內建電勢差增大,這種情況是反偏;

2. 如果在金屬和半導體之間加一個正電壓,φB0依然保持不變,而半導體金屬勢壘高度會減小,「自由電子」很容易從半導體流向金屬,這種情況是正偏。

3. 肖特基二極體施加電壓後的金屬-半導體能帶圖與PN結非常類似,其電流主要取決於「自由電子」的流動,正偏電流方向是從金屬流向半導體,電流是隨正偏電壓Va的指數函數。

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