電動汽車IGBT技術應用與發展

fans news 發佈 2021-11-27T17:00:35+00:00

IGBT屬於複合全控型電壓驅動式功率半導體器件,它由雙極型三極體、絕緣柵型場效應管兩個部分構成,具有高輸入阻抗和低導通壓降等優點。電力電晶體的飽和壓較低,載流密大,但工作電流較大;金氧半場效電晶體工作功率小,通斷速度快,但導通壓降大,載流密度小。

IGBT屬於複合全控型電壓驅動式功率半導體器件,它由雙極型三極體、絕緣柵型場效應管兩個部分構成,具有高輸入阻抗和低導通壓降等優點。電力電晶體的飽和壓較低,載流密大,但工作電流較大;金氧半場效電晶體工作功率小,通斷速度快,但導通壓降大,載流密度小。IGBT導通後的功耗很小,可以看作導線,斷開時的電阻很大,可以看作開路,具有高壓、大電流、高速三大特點,工作功率小飽和壓降低,適用於直流電壓為600 V及以上的變流系統。由於電動汽車對功率器件的耐壓性、耐高溫性、散熱性、穩定性等性能具有很高的要求,IGBT相對MOSFET電晶體具有更優的綜合性能,因此,IGBT成為目前電動汽車逆變器上的主流功率器件,並且發展潛力巨大。


IGBT的結構

IGBT有柵極G、集電極c和發射極E,屬於三端器件。IGBT具有兩層P+注入區,這兩個區域構成了一個面積較大的PN結J1。當IGBT接入電路工作時,部分載流子從注入區P+發射到基區N,達到調至漂移區電導率的作用,因此,IGBT具有較強的通流能力。緩衝區介於P+注入區與N-漂移區之間的N+層。緩衝區有無IGBT表現出不同特性。有N+緩衝區的IGBT稱為非對稱型IGBT(也稱穿通型IGBT),具有正向壓降較小、犬斷時間短、關斷時尾部電流小等優點,但其反向阻斷能力相對較弱。無N-緩衝區的IGBT稱為對稱型IGBT(也稱非穿通型IGBT)具有較強的正反向阻斷能力,它的其它特性與穿通型IGBT相比較差。


IGBT驅動電路

IGBT驅動電路是由GTR與MOSFET組成的達林頓結構,此結構導通與斷開是通過控制柵極正負電壓來實現的。當柵極電壓為正時,GTR與MOSFET組成的達林頓管處於導通狀態;當柵極電壓為負時,GTR與MOSFET組成的達林頓管處於斷開狀態即不工作狀態。IGBT驅動電路等效電路簡圖如圖2所示。該電路可以放大單片機脈衝輸出的功率來間接驅動IGBT功率器件工作。

IGBT與雙極型電力電晶體的伏安特性曲線相似。當控制電壓UGE增加,特性曲線向上移動,改變UGE的電平可以控制IGBT的狀態(截至狀態、飽和狀態),因此常用在電源的開關中。


IGBT的工作原理

IGBT可以看成一個PNP型電晶體(通過MOSFET驅動),與普通的PNP型電晶體相比,它的基區更厚,等效電路如圖1(b)所示,圖中的RN為PNP電晶體基區內的調製電阻,MOSFET為N溝道場效應電晶體,這種結構的IGBT稱為N溝道IIGBT,其符號為N-IGBT。類似的還有P溝道IGBT,即P-IGBT。

IGBT的電氣圖形符號如圖1(c)所示,IGBT是—種場控器件,它的開通和關斷由柵極和發射極間電壓UCE決定,若開啟電壓UCE(th)值小於柵射電壓UCE並且柵極電壓為正值,PNP型電晶體接收MOSFET內部溝道中的電流,IGBT導通。這時,從P+區進入N-區的載流子對N-區實施電導調製,電阻RN(N-區)會逐漸降低,IGBT獲得一個較小的通態壓降。若柵射極間電壓UCE等於零或者為反向電壓時,MOSFET內不會形成溝道,沒有載流子從P+區進入N-區對N-區實施電導調製,電晶體內沒有基極電流,IGBT不工作即關斷。IGBT的驅動原理如下所示。

當UCE為負時:J3結處於反偏狀態,器件呈反向阻斷狀態。

當UCE為正時:UC< UTH,溝道不能形成,器件呈正向阻斷狀態;UG>UTH,絕緣門極下形成N溝道,由於載流子的相互作用,在N-區產生電導調製,使器件正嚮導通。

1. 導通

IGBT矽片的結構與功率MOSFET的區別在於,IGBT比功率MOSFET多了P+基片和一個N+緩衝層(IGBT沒有NPT-非穿通結構),在管體的P_區和N+區之間應用基片建立了一個J1結。若正柵偏壓使柵極下面反演P基區時,IGBT內部形成N溝道,此時溝道內形成電子流並形成一股電流。當形成的電子流的電壓在0.7 V範圍內,P_區和N+區建立的J1處於正向偏壓,N-區內進入部分空穴,這些空穴會改變N-區與N+區之間的電阻率,這種調節方式降低了IGBT導通的能耗,同時驅動了第二個電荷流。兩種不同的電流拓撲,即一個MOSFET電子流和一個空穴電流(雙極),臨時出現在半導體內。

2. 導通壓降

應用電導調製效應可以降低電阻RN的值,減少通態壓。所謂通態壓降,是指IGBT進入導通狀態的管壓降UDS,這個電壓隨UCS上升而下降。

3. 關斷

柵極在得到一個負偏壓或柵極電壓低於門限值時,將不會形成溝道,N-區內不會有空穴進入。所有情況下,在開關階段若MOSFET的電流下降速度過快均會引起集電極電流的降低,此時閡為換向開始後,少數的載流子任然存留在N區內。關斷時電荷的密度會直接影響降低殘餘電流值。電荷的密度與雜質摻入的數量和拓撲、層次的厚度和溫度等因素有關,因此,降低殘餘電流值(尾流)受多種因素影響,具有不確定性。集電極電流受N區內殘留的部分載流子的衰減影響,出現特徵尾流波形。集電極特徵尾流會導致功耗變大、導通錯亂等問題。這種問題在續流二極體的設備上會更加凸顯。

因為殘餘電流與少數的載流子的重組具有緊密的關係,所以,殘餘電流的電流值應與晶片的Tc、IC、UCE、空穴移動性有重要的關係。

4. 反向阻斷

若集電極得到反向電壓,P_區和N+區J結會受到反向偏壓影響,同時因層面厚度降低太大,阻斷能力將會喪失,耗盡層則會向N-區擴展,此外,若區域尺寸增加超過一定的值,壓降也會連續地變大。

5. 正向阻斷

若集電極端子獲得正電壓且把柵極和發射極進行短接,P_區和N+區之間的J結受反向電壓控制。

6. 閂鎖

PNPN晶閘管寄生在ICBT的集電極與發射極之間。晶閘管導通現象被稱為IGBT閂鎖。在一定條件下,PNPN晶閘管會導通,集電極與發射極之間電流量變大,控制等效MOSFET的能力會下降,常常會引起器件的擊穿問題。


IGBT與電動汽車IGBT晶片發展歷程

回顧功率器件過去幾十年的發展,20世紀60年代,雙極型器件通態電阻很小,電流控制,控制電路複雜且功耗大。隨著工業的發展,對學術界提出了簡化驅動電路,降低製造成本和開關能耗、通態壓降的要求。20世紀90年代,IGBT在MOS與BJT集成技術研究的背景下被製造出來。

IGBT的出現並不是為了電動汽車服務,但是,隨著全球環境的惡化,電動汽車得到了發展,IGBT逐漸開始應用在汽車、交通等領域,並隨著電動汽車與IGBT的共同發展,IGBT晶片成為電動汽車不可或缺的一部分。電動汽車IGBT晶片發展歷程如圖3所示。

第一代:IGBT的雛形,需要依靠提高N-drift來提高耐壓,關斷功耗和導通電阻都比較高,由於以上因素,第一代IGBT止步於實驗室未得到普及使用。

第二代:PT-IGBT,耗盡層未能穿透N+緩衝層,基區電場加強呈梯形分布,通過降低晶片厚度來降低功耗。西門子公司是當時生產IGBT器件的代表性公司。20世紀末,西門子公司生產的BSM150GB120DN1(DN1表示第一代產品),在600V電壓上具有良好的表現,但當電壓升至1200 V時,外延厚度變大,成本相對較高,同時可靠性降低(摻雜濃度及厚度的均勻性差)。

第三代:NPT-IGBT,離子注入技術取代外延技術生成P+集電極(透明集電極技術),可以很好地控制結深同時保證儘可能低的發射效率。關斷損耗是通過加快載流子抽取速度來實現的。基本不影響基區原有的載流子壽命,同時對穩態功耗的影響幾乎可以忽略不計,此時的IGBT已經具備正溫度係數的特點,在穩態損耗和關斷損耗間表現不俗。此時,IGBT代表性公司依然是西門子,其突破性地採用區熔法代替外延的批量產品。

第四代:Trench-IGBT,第四代較以往具有較大的改進,這次運用Trench結構,溝道從以前的表面移動到了垂直面上,增強了基區的PIN效應,增大了柵極附近載流子的濃度,電導調製效應有了一定的提升,導通電阻得到了降低,消除了JFET效應,柵極密度可以按需求增加。並且,第四代繼續繼承了第三代的集電極P+implant技術,引入了PT技術作為場終止層,提高了耐壓能力。英飛凌代替西門子成為引領企業,其減薄技術當時世界第一,1200 V的時候,它的厚度可以做到120~140 um之間,600V時可以做到70 um以下。

第五代及第六代:第五代FS-IGBT和第六代的FS-Trench是在以前四次技術的基礎上對各種技術措施的重新組合。第五代IGBT是第四代產品「透明集電區技術」與「電場中止技術」的結合。第六代產品與第五代產品的區別是改進了溝槽柵結構。


IGBT在電動汽車領域應用

IGBT作為新型功率半導體器件的主流器件,在軌道交通、新能源汽車等領域均有廣泛的應用。目前,隨著生活節奏的加快,市場對新能源汽車的功率、安全、價格提出了更高的要求,IGBT的電流密度、功率損耗、穩定性起著重要的作用。

電動汽車的發展與IGBT模塊的發展密不可分,電動汽車、充電樁及其相關設備都離不開IGBT技術的支持。電動汽車生產成本中,IGBT模塊占比超過了10%,在充電樁生產成本中占比接近1/5。IGBT在電動汽車領域主要應用於以下幾個方面:

1.電動汽車的控制系統 IGBT技術用來控制大功率直流/交流(DC/AC)逆變然後控制電機的運轉,變流器是交流傳動系統中牽引核心部件,IGBT又是牽引變流器的關鍵部件。

2.車載空調控制系統使用電流較小的IGBT和FRD控制小功率直流/交流(DC/AC)逆變。

3.充電樁 IGBT模塊在智能充電樁中作為開關元件使用。


結語

IGBT器件在大電流密度、低損耗優化技術、高溫高壓技術和智能集成技術方面,均有較好的性能,在新能源汽車的功率模塊上得到了廣泛應用,具有較好的前景。但是,實現電動汽車IGBT晶片優化技術大規模應用還需要進一步優化溝槽柵精細程度、耐高溫高壓性、多功能集成技術等。



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