26億!ASML官方宣布,2024年將推出一款新型EUV光刻機

康爾信電力系統 發佈 2024-02-26T15:06:07.834490+00:00

在這方面,ASML進行了公開的官宣,新的EUV光刻機將於2024年正式發貨,並且每台售價將近26億人民幣。

晶片製程進入臨界點,現款EUV光刻機能夠支持3nm晶片的批量生產,但更為先進的2nm需要更為高檔的EUV光刻機設備,才有可能實現。

在這方面,ASML進行了公開的官宣,新的EUV光刻機將於2024年正式發貨,並且每台售價將近26億人民幣。這麼貴的裝備,亮點是什麼?新的設備已經到來,舊的EUV光刻機是否可以自由發貨?

加速新一代EUV光刻機研發

晶片製造技術更新疊代的時間非常快,2020年還是7nm技術,到了現在已經用上了4nm工藝。而且台積電還會在今年下半年量產3nm,再往後的2nm也規劃到2025年量產。

可以說晶片納米製程的工藝節點都是有明確規劃的,在研發,量產之前會先明確量產時間,好規劃產能目標。為了跟上晶片製造商的進度,ASML必須加速新一代EUV光刻機的研發了。

按照台積電的計劃,到2025年量產2nm。因此ASML新一代的NA EUV光刻機要在2025年進入量產狀態。關於新一代的NA EUV光刻機,ASML正式官宣了。

據ASML表示,在NA EUV光刻機方面取得了良好的進展,目前已經收到了來自三個邏輯晶片和兩個存儲晶片客戶的NA EUV光刻機訂單。

在NA EUV光刻機的時間規劃方面,外媒報導這款光刻機會在2023年亮相原型機,然後到2025年正式量產。此時ASML已經獲得了5家客戶的意向訂單,看起來還是備受追捧的。可真的是這樣嗎?

ASML明年交付新一代EUV光刻機

台積電,三星是全球第一,第二大晶片製造商,二者的晶片製造技術代表人類最高的晶片生產水平。

目前台積電實現了5nm,4nm等晶片的穩定量產,而三星在今年6月底就成功進入3nm量產狀態。台積電也會按照計劃,在下半年進入3nm量產。不過4nm,3nm不是晶片製程的終點,摩爾定律還沒有就此結束,在3nm以下還能實現更先進的2nm。

而ASML新一代的High-NA EUV 光刻機會成為生產2nm晶片的關鍵設備。

自從ASML研製High-NA EUV 光刻機以來,進度遠超想像。今年7月份ASML透露收到了機械投影,光源以及晶圓載物台等核心元器件。

這意味著供應商已經在配合ASML的生產需要,積極供貨。就在9月底,ASML進一步傳來消息,正式官宣明年向客戶交付首台High-NA EUV 光刻機。這台光刻機最高或可生產1nm晶片,當然,最終能否造得出來,還得看晶片製造商的技術。

ASML還說過,已經拿到了5台High-NA EUV 光刻機的預付訂單。但ASML並沒有透露這些客戶的信息。

雖然不難猜測英特爾,三星和台積電會搶購High-NA EUV 光刻機,可是其它半導體公司也會採購High-NA EUV 光刻機用於研究用途。而且英特爾,三星和台積電這三大巨頭一時半會還無法造出2nm晶片,所以明年獲得High-NA EUV 光刻機首發訂單的客戶,未必會拿來生產晶片。

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