3月9日，光刻機巨頭ASML發布聲明：浸潤式DUV光刻機必須經過申請方可出口，同時表示該限制只涉及「最先進」的浸潤式光刻系統。

簡單來說，就是ASML想賣給我們光刻機，必須經過美國同意，當然那些「老古董」除外。

這項限制將於今年夏天開始實施，這幾個月，荷蘭會緊鑼密布的制定相關限制清單，確定哪種設備、哪些零部件不適合出口。

實際上，清單中必然有ASML，具體設備必然包括我們無法製造的先進光刻機，而部件也必然是我們無法生產的。

可以想像，今年國產晶片的日子又不好過了，而晶片又涉及AI、大數據、雲計算、智慧型手機、電動汽車等多個行業，影響範圍十分龐大。

那麼問題來了，為什麼ASML一定要聽美國的？國產光刻機如何才能突破封鎖？

ASML是最大的光刻機組裝廠

提起光刻機大家最先想到的就是荷蘭ASML，它是全球最大的光刻機製造商，也是EUV光刻機的唯一製造商。

ASML在光刻機領域有多強呢？從相關數據可以看出：

1、2021年，全球光刻機市場份額為1076億，ASML一家就達到了854億，占比79%；

2、中端市場（DUV光刻機）出貨103台，占據93.6%的市場份額；

3、高端的EUV光刻機出貨量44台，達到了100%，絕對壟斷；

4、2022年ASML營收1562億人民幣，為我國光刻機企業上海微電子營收（34—36億）的50倍。

得益於ASML優秀的設備，摩爾定律得以延續，我們也使用上了7nm、5nm、4nm手機晶片，我們的智慧型手機性能得到了大幅提升，能耗也大幅下降。

但你以為新進的光刻機都是ASML的功勞，那就大錯特錯了。我們以EUV光刻機為例，ASML也只掌握了其中10%的技術。

EUV光刻機由10萬個零部件、4000多個軸承、3000多條線纜、2公里管道組成，單台設備重達180多噸，售價達到了1.2億美元。

其涉及系統集成、精密儀器、精密光學、精密運動、精密物料傳輸、極淨環境控制等多項先進技術，而EUV光刻機的供應商也達到了2000多家。

EUV光刻機最核心的技術主要包括：極紫外光源、光學透鏡、雙工作檯。

極紫外光源由德國通快和美國Cymer（2012年被ASML收購）提供

極紫外（EUV）光源是波長為13.5nm的極紫外光，自然界中沒有這種光源，必須使用特殊設備製造。

德國通快和Cymer公司耗盡大量心血打造了獨一無二的CO2雷射放大器，由高功率種子模塊、高功率放大鏈路、光束傳輸系統、光學平台FFA共同組成。

這款設備將雷射放大5次，最終發射出了3萬瓦的脈衝雷射，擊中直徑2微米的錫滴，從而發出13.5nm的極紫外光。隨後被收集器收集，通過透鏡折射到晶圓上。

光學透鏡由德國蔡司獨家供應

EUV光刻機上的光學透鏡，絕對是世界上最平整的鏡子。

它的平整度有多高呢？這麼和你說吧！浴室內的鏡子看起來很平整，但是把它放大到德國領土大小時，它的凸起會達到2米，而蔡司製造的光學透鏡只有2厘米。

這還不夠，因為極紫外光極易被吸收，需要在鏡面塗上特殊的鎳鉻塗層，塗層的厚度僅有2微米，而且需要均勻的塗覆多層。

這樣的製造工藝目前僅有德國蔡司能夠擔任，而其他光學透鏡公司不要說製造工藝，就連製造設備都達不到標準。

雙工作檯由ASML提供

工作檯是光刻機的核心系統之一，它承載著晶圓製造時所需要完成的高速精密運動，包括上下片、對準、晶圓面型測量和曝光等。

單工作檯中，晶圓的上下片、測量、對準、曝光都是順序進行的，如此工藝上雖然相對簡單，但是效率太低。

雙工件台中，大部分測量、校正工作可以在另一個工件台上並行，同時不影響產能，但是對工藝和精度要求更高。

目前，國產光刻機仍無法掌握雙工作檯技術，導致工藝和產能嚴重落後。

可即便是ASML掌握了10%的技術，仍然敢嘲笑的說：即便把圖紙公布出來，中國也製造不出高端光刻機。

實際上，我國的確沒有製造出先進的光刻機，但值得驕傲的是我國是第一個獨立製造光刻機的國家。

國產光刻機性能如何？

我國光刻機製造企業代表為上海微電子，能夠製造90nm精度的光刻機，這套光刻系統能夠製造出65nm晶片，但是良品率會大幅下降至個位數。

除了精度、良品率外，國產光刻機在系統穩定、生態系統方面也存在欠缺，與刻蝕機、PVD、PCD等設備配合不緊密，無形中增大了工作量。

這些原因共同導致，中芯國際、長虹微電子紛紛選擇進口光刻機，不願意使用國產設備。

這是不是意味著國產光刻機真的一無是處呢？當然不是！

上海微電子90nm光刻機可以用來製造軍工晶片、WiFi晶片、LCD驅動晶片、電源管理晶片、射頻晶片、各種數模混合電路等等。

如果真的有一天我們無法使用進口光刻機，那麼上海微電子至少可以保證軍隊、工廠正常運轉，這比俄羅斯強多了。

如果沒有《瓦森納協定》、美國「晶片禁令」的約束，上海微電子同樣能夠獲得美國光柵、德國鏡頭、瑞典軸承、法國閥件等零部件，攻克7nm技術也未可知。

但哪裡有那麼多如果呢？缺少零部件導致上海微電子發展舉步維艱，28nm光刻機遲遲無法攻破，國產晶片產業鏈被光刻機「卡脖子」了。

即便我們擁有自主架構，設計出3nm晶片、封裝達到4nm水平，也無法擺脫對歐美技術的依賴。

這就是國產光刻機的現狀，有但不強，想升級卻沒材料，只能自主研發。

和平是打出來的

「我認為，和平是打出來的。我們要用艱苦奮鬥，英勇犧牲，打出一個未來30年的和平環境，讓任何人都不敢再欺負我們。我們在為自己，也在為國家。」——任正非

這是2021年10月，華為創始人任正非在公司軍團組建大會上的一番講話，在任正非看來，要想不被欺負、受人尊重，那就要「打」出一個和平。

當然這裡的「打」並不是直接進行軍事對抗，而是科技競爭。

我們都知道華為是一家極具實力的科技公司，是全球領先的ICT設備提供商，主要業務包括5G、智慧型手機、軟體系統等。

在5G領域，華為擁有最多的專利，技術上與高通平分秋色，標準方面僅次於高通。可以說，全球沒有任何一家企業可以繞過華為單獨搞5G研發。

智慧型手機領域，華為憑藉自研的麒麟晶片，一度超越了蘋果，與三星僅一步之遙，這樣的成績連蘋果也感到了害怕。

軟體系統方面華為自研的鴻蒙作業系統，依靠強大的分布式成為全球第一款真正意義的物聯網作業系統，也是全球用戶增長最快的作業系統。

華為的這些成就，最終引起了美國政府的注意，就連五角大樓都說「5G可以改變作戰環境，華為的5G技術已經產生威脅」。

2019年5月16日，華為被列入美國商務部「實體清單」，在關鍵技術、零部件上受到了極大的限制，2020年9月，華為失去了台積電晶片代工資格。

此後4年多的時間中，華為因為晶片問題，導致5G、智慧型手機、PC業務受到嚴重影響，營收、利潤雙雙下滑。

這還沒完！今年1月31日，多家媒體報導，美國計劃徹底切斷華為與美國供應商之間的關係，目的就是要禁止華為獲取5G、4G、Wifi、AI及雲計算相關技術與產品。

儘管華為步入寒冬，但是華為依然選擇了「打出一個和平」。相關資料顯示：即便是在打壓限制下，華為每年在研發投入上依然高達上千億，2021年、2022年研發投入均超過了1400億。

2023年元旦，華為輪值董事長徐直軍發布新年致辭：奮勇前進，衝破險阻，有質量地活下來。

華為要在制裁常態化的情況下正常運營，這不僅需要巨大的勇氣和智慧，更需要打不垮、戰不餒的大無畏精神。

當孟晚舟說：我絕不會讓華為和祖國蒙羞。當任正非說：我已經做好見不到女兒的準備了。我們就知道華為永遠不會被打垮！

這樣的精神值得我們各個企業來學習，忍讓只會讓敵人更加囂張，更加肆無忌憚，因為「和平是打出來的」。

在光刻機領域，別人打過來，我們就要還回去，今天你不賣給我設備，那我就努力自主研發，永遠不購買你的設備。

EUV光刻機再難，它也是人造的，大家都是一個腦袋兩條腿，歐美人能造出來，我們中國人也一樣能夠造出來。

寫到最後

ASML遵守美國晶片禁令，計劃拒絕向我國出口浸潤式DUV光刻機，短期看來會對我國晶片製造領域造成很大影響，但長期來看未必是壞事。

此舉讓我們徹底放棄了對國外設備、技術的幻想，加大了自主研發的決心，未來將形成獨特的國產晶片產業鏈，徹底擺脫「卡脖子」。

在唐、宋、元、明時期，我國都曾依靠自己的發展，屹立於世界之巔，如果我們能夠打造自己的科技產業鏈，未來再度屹立於世界之巔也未嘗不可。

我是科技銘程，歡迎共同討論！