等離子體（簡稱等離子）是物質除氣態、固態、液態外，存在於大自然中的另一種基本形態，通常稱為物質的第四態。
在外加能量作用下，如進行加熱、加外電場、雷射照射等時，氣體分子或原子會發生電離，形成帶負電荷的電子和帶正電荷的離子。由離子、電子、自由基、激發態的分子和原子所組成的電離氣體，處於激發、電離的高能狀態，其電子的負電荷和離子的正電荷總數相等，宏觀上對外不顯電性，呈中性，稱為等離子體。
在地球上，等離子體物質遠比固體、液體、氣體物質少。在宇宙中，等離子體是物質存在的主要形式，占宇宙中物質總量的99%以上，如恆星(包括太陽)、星際物質以及地球周圍的電離層等，都是等離子體。
低溫等離子體中離子、電子、自由基、激發態的分子和原子所組成的電離氣體，處於激發、電離的高能狀態易於和所接觸的物質發生反應，因此，低溫等離子體被廣泛應用於滅菌消毒、空氣淨化和工業尾氣處理中。
等離子體對有害物質的淨化原理：
1、自由基作用於污染物分子。低溫等離子體中含有大量的各種自由基，這些化學性質活潑的自由基起到催化劑的作用，使得污染物分子在常溫常壓下難以發生的反應得以進行。
2、高能電子直接作用於污染物分子。由於等離子體放電產生的高能電子具有較高的能量，足以使很多常見的污染物分子的某些位置的化學鍵斷裂，直至最後降解。
低溫等離子體技術對於低濃度、大流量廢氣淨化是一項極有前途的處理技術。它具有較高的污染物脫除效率，工藝簡單、設備操作容易、運行成本低廉、二次污染低等優點，作為一項新興廢氣處理技術，在它不斷完善的過程中，其工業應用條件正慢慢趨於成熟。
參考文獻
任姝穎．低溫等離子技術在空氣淨化領域的發展現狀及其應用前景，[J]．潔淨與空調技術，2017（3）