對蕭道成來說，各方主要政敵都被消滅殆盡，取代劉宋自建王朝已經是早晚的事。但蕭道成卻沒有急於求成，而是一步步邁著自己的步子。
從昇明二年（公元478年，北魏太和二年）九月開始，蕭道成開始安排自己的子孫親信們擔任要職。三子蕭映被任命為南兗州刺史，四子蕭晃被任命為豫州刺史。到了昇明三年（公元479年，北魏太和三年）又任命長子蕭賾為尚書僕射，晉升封號為中軍大將軍、開府儀同三司。任命次子、江州刺史蕭嶷為都督荊湘等八州諸軍事、荊州刺史，任命尚書左僕射王延之為江州刺史，任命長孫、給事黃門侍郎蕭長懋為雍州刺史。任命次孫、安南長史蕭子良為都督會稽等五郡諸軍事、會稽太守。
其中對蕭嶷的任命尤為關鍵，荊州是沈攸之起兵之地，他在那也經營多年。但先前沈攸之準備聚眾起事的時候，允許百姓互相告發，因此獲罪服役的士人和平民甚為眾多。蕭嶷到荊州赴任以後，開始收買民心，在一天以內就遣散了三千多人。刺史府與州衙中禮儀器物的陳設，都力求保持儉省節約，又能放寬刑罰，減少賦役，所以本州百姓大為歡悅，荊州也被蕭道成父子牢牢掌控。
隨後蕭道成加速了篡位的步伐，這年二月甲午日（二十二日），劉准頒詔重申以前的命令，讓蕭道成朝拜時，不必自己稱名。三月甲辰日（初二），又任命蕭道成為相國，總領百官，並以十郡之地給他晉爵為齊公，頒賜九錫，並讓他仍然擔任驃騎大將軍、揚州牧、南徐州刺史。隨後劉准又頒詔決定，齊國的官職爵位和禮典儀式，一概仿效朝廷。並讓蕭賾兼任南豫州刺史。
劉氏宗族當然不想坐以待斃，劉義慶的孫子、臨川王劉綽想利用楊運長被殺之事，想聯合楊運長好友、凌源縣令潘智造反。誰知潘智當即把這番話向蕭道成稟告。劉綽兄弟及其黨羽最終被殺，劉氏宗室徹底掀不起波瀾了。
四月壬申朔（初一），蕭道成晉爵為齊王，並增加十個郡的封地。同月辛卯日（二十日），劉准正式頒詔要將帝位傳讓給蕭道成，其實大家都明白，這不是劉準的本意。次日劉准應當到殿前去會見百官，但他不肯出面，卻逃到佛像的寶蓋下面。王敬則率領軍隊來到宮殿的庭院中，抬著一頂木板轎子入宮，去迎接劉准。
這下子太后也害怕了，便親自率領宦官找到了劉准，王敬則勸誘劉准，讓他從寶蓋下面出來，領著他上了轎子。劉准止住眼淚，對王敬則說：「你們準備殺死我嗎？」王敬則說：「只是讓你到另外的宮殿中居住罷了。您家先前取代司馬氏一家也是這樣做的。」
司馬氏一族的命運劉準是明白的，他掉著眼淚彈著食指說：「但願我今後生生世世永遠不再生在帝王家中！」宮中的人們都哭泣起來。劉准拍著王敬則的手說：「如果不發生意外，就贈送給你十萬錢。」
當天，百官為蕭道成陪席，由於侍中謝朏不配合，蕭道成便讓王儉擔任侍中，解送璽印。禮典結束以後，劉准坐著彩漆畫輪的車子，出了東掖門，前往太子的府邸。隨後司空兼太保褚淵等人捧上璽印，率領百官前往齊王宮請蕭道成即帝位。
蕭道成假模假樣推辭謙讓，沒有接受。最後架不住群臣勸諫，接受了。四月甲午日（二十三日），蕭道成在建康南郊即帝位，改國號為齊。蕭道成回宮以後，大赦天下罪囚，更改年號為建元。蕭道成又封劉准為汝陰王，優待尊崇汝陰王的禮典，完全效仿劉宋初年的做法。又在丹陽為劉准修築宮室，並設置兵力守衛。
至於劉宋諸帝的神位則都被遷移到汝陰廟中，劉宋諸王都被降爵為公。至於其他爵位，如果沒有為齊室出力，公侯以下一律削除國號，唯獨設置南康、華容、萍鄉三國，以便奉養劉穆之、王弘與何無忌的後人，一時間削除國號的諸王計有一百二十人。劉宋官員仍然保持原來的職位，對於官名稱謂不同和官員超過名額的情況，另外再加詳細計議。